真空熱壓燒結(jié)爐

       真空熱壓燒結(jié)爐依使用溫度的不同可分為以下幾類。由于使用溫度的不同，加熱室中所采用的加熱方式及保溫方式千差萬別。溫度在800℃以下的爐子，加熱器常采用鐵鉻鋁、鎳鉻絲等作為加熱元件，保溫材料常采用高溫硅酸鋁保溫氈。溫度在1000℃-1600℃常采用金屬鉬、硅鉬棒、硅碳棒等作為加熱元件，保溫材料常用復合碳氈、莫來石氈等。溫度在1600℃--2200℃常用石墨管作為加熱元件，或采用感應加熱方式，保溫材料常用石墨氈等。

       真空熱壓燒結(jié)爐的爐殼由爐體和爐門構(gòu)成，為雙層冷卻水套式結(jié)構(gòu)。設備爐殼是按蕞大承受壓力范圍為-0.1~0.05MPa設計。 爐殼為臥式，側(cè)開平移門，爐殼上有真空系統(tǒng)接口，測溫接口，水冷電極接口、充放氣接口及視孔接口等，均按高真空靜密封標準設計；爐體上的上下壓頭裝臵（上下各一套）、熱電偶裝臵及擋板機構(gòu)均為高真空動密封結(jié)構(gòu)，爐門和爐殼均采用焊接結(jié)構(gòu)。對于尺寸較小的熱壓爐，爐門與爐體采用鉸鏈連接方式，由于石墨壓頭、爐料及石墨爐具相對較輕，常采取側(cè)開爐門與加熱室內(nèi)的保溫側(cè)開門聯(lián)為一體，便于加熱元件、壓頭、模具等的安裝及進、出料。對于尺寸較大的熱壓爐，由于石墨壓頭、料及石墨模具較重，則設計成可移動式水冷電纜，將爐門與加熱室聯(lián)成一體，通過內(nèi)、外巧妙設計的軌道，可將加熱室移出爐外特定位臵，實現(xiàn)外加料及外出模并便于加熱室的維護（如更換加熱器）等。

       真空熱壓燒結(jié)爐的系統(tǒng)通常由擴散泵與機械泵組成高真空擴散泵機組。閥門為專用真空擋板閥，擴散泵上設有冷阱，以防止擴散泵返油。配有羅茨真空泵的系統(tǒng)，具有粗抽旁通管路，用以提高抽氣速率，真空度測量采用復合式數(shù)顯真空計。前級機械泵具有停泵自動放氣功能。

      根據(jù)真空熱壓燒結(jié)爐各部分對冷卻水的要求，制作集水排、由閥門、管路等組成；對爐體、爐蓋、真空系統(tǒng)及水冷電極進行冷卻。其中總進水管路安裝水壓傳感器。

 

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